一般選擇防靜電地板或無塵自流平地坪。防靜電地板具有消除靜電并控制塵埃的特性，適用于需要防止靜電干擾和避免塵埃積聚的場所。無塵自流平地坪則具有平整、易清潔的特點，對塵?？刂埔草^為有效。

　　高架地板：百級無塵車間屬于比較高的潔凈度級別，一般對于環境要求很高的產品才會用到這種級別的無塵車間，而要想達到百級的凈化級別，使用的凈化設備也比較特殊，通常采用車間的吊頂上滿布FFU的方式來凈化空氣，由于FFU是采用的垂直流，所以需要在車間的地面鋪設合適高度的帶孔的高架地板，它將經過潔凈室頂部高效過濾器(FFU)處理的空氣垂直導入地板下方的回風道，從而在潔凈室內形成垂直的氣流流形。